7月29日，科创截止午间收盘，半导备科创半导体设备ETF鹏华（589020）跌7.42%，体设报2.222元，鹏华成交额10.70亿元。跌半科创半导体设备ETF鹏华（589020）重仓股部分，日成华海清科截止午盘跌7.71%，交额中微公司跌8.27%，亿元中科高效测跌9.30%，科创拓荆科技跌6.59%，半导备华峰测控跌4.79%，体设芯源微跌7.62%，鹏华沪硅产业跌7.87%，跌半盛美上海跌9.76%，日成安集科技跌6.47%，交额富创精密跌10.18%。
科创半导体设备ETF鹏华（589020）业绩比较基准为上证科创板半导体材料设备主题指数收益率，管理人为鹏华基金管理有限公司，基金经理为林嵩，成立（2025-08-27）以来回报为139.90%，近一个月回报为-17.51%。
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